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河北高純氮

  • 產品名稱: 河北高純氮
  • 產品分類: 高純氮
  • 公司名稱: 淄博峰山氣體有限公司
  • 添加時間: 21/03/26
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產品詳情
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  高純氮
  一、物理性質
  分子式:N2
  性質:純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃,空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。
  相對分子質量 28.013
  熔點 63.15K,-210℃,-346oF
  沸點,195.6
  純化方法:主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。
  二、用途
  在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加注系統必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。
  三、純化方法
  1、加氫除氧法
  在催化劑作用下,普氮中殘余氧和加入的氫發生化學反應生成水,其反應式:2H2+O2=2H2O,再通過后級干燥除去水份,而獲得下列主要成份的高純氮:N2≥99.999 %,O2≤5×10-6,H2≤1500×10-6,H2O≤10.7×10-6。制氮成本在0.5元/m3左右。
  2、加氫除氧、除氫法
  此法分三級,加氫除氧,除氫,除水,獲得下列組成的高純氮:N2≥99.999%,O2≤5×10-6,H2≤5×10-6,H2O≤10.7×10-6。制氮成本在0.6元/m3左右。


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